Oltre alla fabbricazione delle microstrutture, l’analisi e la misura accurata dei lavorati è fondamentale.
Nei laboratori presenti in Kirana sono presenti vari strumenti per la verifica e l’analisi metrologica dei lavorati. In base alle caratteristiche del lavorato da analizzare, gli strumenti a disposizione sono:
- Microscopi ottici con vari ingrandimenti. Questi vengono periodicamente calibrati e consentono la certificazione delle misure quando viene richiesta
- Profilometro ottico (Interferometro a luce bianca). Questo strumento consente un’accurata ricostruzione in 3D delle superfici
- Microscopio elettronico a scansione (SEM) equipaggiato di detector degli elettroni secondari e backscattered per la ricostruire la topografia dei lavorati più piccoli. Inoltre è presente uno sputter coater per l’osservazione di campioni non conduttivi.
Pillars su materiale ceramico con ricostruzione in 3D mediante profilometro
Canale su alluminio con misura della sezione mediante profilometro
Immagini al microscopio elettronico a scansione
